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T/ICMTIA 3-2020《集成电路用六氯乙硅烷》团体标准发布公告

T/ICMTIA 3-2020《集成电路用六氯乙硅烷》团体标准发布公告

来源：

ICMtia

2020/02/24

浏览量

各有关单位：

根据《团体标准管理规定》及《集成电路材料产业技术创新联盟标准制定程序》要求，经联盟标准委员会审议通过，现批准发布T/ICMTIA 3-2020《集成电路用六氯乙硅烷》团体标准。

本标准于2020年2月24日发布，并于2020年4月24日开始实施，特此公告。

集成电路材料产业技术创新联盟

二零二零年二月二十四日

T/ICMTIA 3-2020《集成电路用六氯乙硅烷》团体标准目录

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《集成电路用六氯乙硅烷》团体标准介绍

团体标准立项公告

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